作者OhMyAlex (学同我者强)
看板NEMS
标题[问题] 有没有推荐的玻璃光罩厂商?
时间Sun Apr 22 00:19:07 2018
各位好
想请问大家有没有推荐的玻璃光罩厂商?
一般而言我们实验室的光罩都是请交大光罩制作
通常需要耗费五周
但现在急着需要无法等这麽久
图案是边长20um的正三角形阵列
一般的胶片光罩解析度不足
询问过港建 他们表示会有5um的R角 这样会大幅偏离三角形的形状
似乎还是只能用玻璃光罩
港建也有制作玻璃光罩的服务
大概花费1.6w 制作一周
想请问各位是否有委外制作玻璃光罩的经验?
有没有其他推荐的玻璃光罩制作厂商?
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1F：推 huges0111: 成大微奈米中心跟中央大学也都有光罩制作服务 04/22 09:05
2F：推 asumawei: 大宝岛光电 04/22 17:11
3F：推 s75287: 台大也有 04/27 00:50
4F：→ OhMyAlex: 询问後发现成大的解析度和价格最实惠 感谢大家推荐! 04/29 22:22
5F：推 sunchloveann: 目前台大北微 每片5000可以找他们作 06/28 14:53
6F：推 chishen1214: 工研院有在做 7寸约2万 09/14 19:13