作者carter696945 (carter696945)
看板NEMS
標題Re: [問題] Tio2氣體感測器
時間Fri Mar 9 10:57:30 2018
你好：
若是在量測上的問題，或許我能幫你解決。
請問貴單位是哪呢？
※ 引述《b10238056 (cyhuang)》之銘言：
: 請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜
: 結果薄膜沒有電阻反應
: 靶材是99.99%Tio2
: 濺鍍時只有用氬氣
: 試問為什麼呢？
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1F：推 b10238056: 您好 我是學術單位的研究生 該如何跟您聯繫呢？想跟您 03/09 23:17
2F：→ b10238056: 學習與請教 03/09 23:17
3F：推 sunchloveann: 有退火嗎 03/11 09:14
4F：推 b10238056: 您好 我有拿去大氣退火 450度 退火完後在電極量測常溫 03/11 15:42
5F：→ b10238056: 下沒有電阻 有加熱後才有電阻 03/11 15:42
6F：推 b10238056: 隨後還有嘗試真空退火 450度 而在常溫下量測電極是有電 03/11 15:44
7F：→ b10238056: 阻的 基板加熱通氮氣時 電阻反而上升 結果很奇怪 照理 03/11 15:44
8F：→ b10238056: 說應該要降低 請問會有什麼問題呢？ 03/11 15:44
9F：推 sunchloveann: 聽起來是你沉積的時候沒加熱 導致晶格相跑掉 03/12 01:54
10F：推 sunchloveann: 通氮氣會提高 理論上不太可能 除非你的氮氣不是 03/12 01:57
11F：推 sunchloveann: 高純氮 有參到一點其他氣體 或漏氣 03/12 01:57
12F：推 b10238056: 您好 我在濺鍍時 基板溫度固定在350度 我用的氮氣是普 03/12 13:47
13F：→ b10238056: 通的氮 後續我改為高純氮試看看 03/12 13:47
14F：推 b10238056: 請教一下 二氧化鈦的工作溫度大概多少呢？ 03/12 13:49
15F：推 b10238056: 我每次通氮氣的時候 電阻一直往上提升 我懷疑是氮氣吹 03/12 13:54
16F：→ b10238056: 出來的風影響的 灌氧氣進去確實也是提升 但是這樣整個 03/12 13:54
17F：→ b10238056: 實驗沒有準確性可言 03/12 13:54
18F：推 b10238056: 後續我有試看看酒精放置腔體內揮發 電阻是有降低的 03/12 14:33