作者carter696945 (carter696945)
看板NEMS
标题Re: [问题] Tio2气体感测器
时间Fri Mar 9 10:57:30 2018
你好：
若是在量测上的问题，或许我能帮你解决。
请问贵单位是哪呢？
※ 引述《b10238056 (cyhuang)》之铭言：
: 请问 使用RF sputter 溅镀二氧化钛薄膜
: 结果薄膜没有电阻反应
: 靶材是99.99%Tio2
: 溅镀时只有用氩气
: 试问为什麽呢？
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1F：推 b10238056: 您好 我是学术单位的研究生 该如何跟您联系呢？想跟您 03/09 23:17
2F：→ b10238056: 学习与请教 03/09 23:17
3F：推 sunchloveann: 有退火吗 03/11 09:14
4F：推 b10238056: 您好 我有拿去大气退火 450度 退火完後在电极量测常温 03/11 15:42
5F：→ b10238056: 下没有电阻 有加热後才有电阻 03/11 15:42
6F：推 b10238056: 随後还有尝试真空退火 450度 而在常温下量测电极是有电 03/11 15:44
7F：→ b10238056: 阻的 基板加热通氮气时 电阻反而上升 结果很奇怪 照理 03/11 15:44
8F：→ b10238056: 说应该要降低 请问会有什麽问题呢？ 03/11 15:44
9F：推 sunchloveann: 听起来是你沉积的时候没加热 导致晶格相跑掉 03/12 01:54
10F：推 sunchloveann: 通氮气会提高 理论上不太可能 除非你的氮气不是 03/12 01:57
11F：推 sunchloveann: 高纯氮 有参到一点其他气体 或漏气 03/12 01:57
12F：推 b10238056: 您好 我在溅镀时 基板温度固定在350度 我用的氮气是普 03/12 13:47
13F：→ b10238056: 通的氮 後续我改为高纯氮试看看 03/12 13:47
14F：推 b10238056: 请教一下 二氧化钛的工作温度大概多少呢？ 03/12 13:49
15F：推 b10238056: 我每次通氮气的时候 电阻一直往上提升 我怀疑是氮气吹 03/12 13:54
16F：→ b10238056: 出来的风影响的 灌氧气进去确实也是提升 但是这样整个 03/12 13:54
17F：→ b10238056: 实验没有准确性可言 03/12 13:54
18F：推 b10238056: 後续我有试看看酒精放置腔体内挥发 电阻是有降低的 03/12 14:33