作者oway15 (clinical lycanthropy)
看板NEMS
標題[問題] 光罩對準機的顯微鏡無法辨識圖形
時間Wed Feb 7 19:57:18 2018
各位前輩大家好
今天遇到的事情是
曝光機的顯微鏡無法分辨出反應區與基板
目前經過的製程是
CVD沉積二氧化矽→BOE蝕刻反應區→離子佈值→退火
目前進度需要在反應區上再利用BOE
吃掉因退火產生的二氧化矽洗出接觸窗
照理來說基板是有5000A的二氧化矽
而反應區上方僅是因熱成長生成薄薄的氧化層
厚度差異會產生色差
且那色差用肉眼也能判別
但是今天去中山大學奈米核心
光罩校準曝光機的顯微鏡一掃下去
居然分辨不出兩者差異
照下去一片雪白宛如未加工的矽晶圓
導致後續無法校準
請問這是哪裡出了問題呢？
有辦法改善嗎…？
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 110.50.184.36
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※ 編輯: oway15 (110.50.184.36), 02/07/2018 19:57:59
1F：→ NCCUOnline: 做每一部都得要檢查...02/09 01:55
2F：→ NCCUOnline: 例如像你說的"照理來說基板是有5000A的二氧化矽"02/09 01:56
3F：→ NCCUOnline: 真的有嗎? (所以每一步驟做完都要校驗)02/09 01:56
您好
https://i.imgur.com/52dhbwU.jpg
將試片直接放顯微鏡看只能看到淡淡的圖形
https://i.imgur.com/k9Oc1mI.jpg
塗佈光阻後就GG了
一片漆黑
https://i.imgur.com/JJimclq.jpg
https://i.imgur.com/m3HijUQ.jpg
啥都看不到…
我用的是厚光阻AZ4620
中山用的是AZ1500
他們光阻厚度只有1.5um
校準機一打下去一樣什麼都看不到
照理來說不可能無法辨識二氧化矽跟矽吧…
※ 編輯: oway15 (140.127.27.212), 02/09/2018 20:13:40
4F：→ tyrzzz: 用一般顯微鏡看看，有時光強度太強會看不到些微的色差或 02/10 16:14
5F：→ tyrzzz: 高低差 02/10 16:14
6F：推 energene: 有側光可以用嗎 02/21 22:30