作者oway15 (clinical lycanthropy)
看板NEMS
标题[问题] 光罩对准机的显微镜无法辨识图形
时间Wed Feb 7 19:57:18 2018
各位前辈大家好
今天遇到的事情是
曝光机的显微镜无法分辨出反应区与基板
目前经过的制程是
CVD沉积二氧化矽→BOE蚀刻反应区→离子布值→退火
目前进度需要在反应区上再利用BOE
吃掉因退火产生的二氧化矽洗出接触窗
照理来说基板是有5000A的二氧化矽
而反应区上方仅是因热成长生成薄薄的氧化层
厚度差异会产生色差
且那色差用肉眼也能判别
但是今天去中山大学奈米核心
光罩校准曝光机的显微镜一扫下去
居然分辨不出两者差异
照下去一片雪白宛如未加工的矽晶圆
导致後续无法校准
请问这是哪里出了问题呢？
有办法改善吗…？
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 110.50.184.36
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1518004640.A.950.html
※ 编辑: oway15 (110.50.184.36), 02/07/2018 19:57:59
1F：→ NCCUOnline: 做每一部都得要检查...02/09 01:55
2F：→ NCCUOnline: 例如像你说的"照理来说基板是有5000A的二氧化矽"02/09 01:56
3F：→ NCCUOnline: 真的有吗? (所以每一步骤做完都要校验)02/09 01:56
您好
https://i.imgur.com/52dhbwU.jpg
将试片直接放显微镜看只能看到淡淡的图形
https://i.imgur.com/k9Oc1mI.jpg
涂布光阻後就GG了
一片漆黑
https://i.imgur.com/JJimclq.jpg
https://i.imgur.com/m3HijUQ.jpg
啥都看不到…
我用的是厚光阻AZ4620
中山用的是AZ1500
他们光阻厚度只有1.5um
校准机一打下去一样什麽都看不到
照理来说不可能无法辨识二氧化矽跟矽吧…
※ 编辑: oway15 (140.127.27.212), 02/09/2018 20:13:40
4F：→ tyrzzz: 用一般显微镜看看，有时光强度太强会看不到些微的色差或 02/10 16:14
5F：→ tyrzzz: 高低差 02/10 16:14
6F：推 energene: 有侧光可以用吗 02/21 22:30