作者abcxyz6219 (Seako)
看板NEMS
標題[問題] 有沒有不會被酒精吃掉的光阻
時間Fri Jan 26 11:00:21 2018
小弟的實驗中要使用到自主性單分子層的製程
因此需要把曝光之後泡浸在酒精的溶劑中
但是光阻一直被酒精吃掉
目前已經使用過AZ4620 跟 S1813這裡兩隻光阻
想請問各位有沒有做過類似的實驗
是否有比較合適的光阻可以推薦?
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1F：推 sunchloveann: 光阻最終有要移除嗎 沒有的化烤250度 連硫酸都洗不 02/01 13:02
2F：推 sunchloveann: 掉 02/01 13:02
3F：→ kn930121: PMGI或LOR可以試試看? 02/01 22:45
4F：→ jam46: 不用移除的話，su8負光阻也滿強壯的，曝光顯影完，用丙酮沖 02/02 00:43
5F：→ jam46: 都沒事 02/02 00:43
6F：→ abcxyz6219: 最後沒有留下來 但是250太高 改成150 02/03 16:36
7F：→ abcxyz6219: 測試是不會被吃掉的 謝謝大大 02/03 16:36