作者abcxyz6219 (Seako)
看板NEMS
标题[问题] 有没有不会被酒精吃掉的光阻
时间Fri Jan 26 11:00:21 2018
小弟的实验中要使用到自主性单分子层的制程
因此需要把曝光之後泡浸在酒精的溶剂中
但是光阻一直被酒精吃掉
目前已经使用过AZ4620 跟 S1813这里两只光阻
想请问各位有没有做过类似的实验
是否有比较合适的光阻可以推荐?
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1F：推 sunchloveann: 光阻最终有要移除吗 没有的化烤250度 连硫酸都洗不 02/01 13:02
2F：推 sunchloveann: 掉 02/01 13:02
3F：→ kn930121: PMGI或LOR可以试试看? 02/01 22:45
4F：→ jam46: 不用移除的话，su8负光阻也满强壮的，曝光显影完，用丙酮冲 02/02 00:43
5F：→ jam46: 都没事 02/02 00:43
6F：→ abcxyz6219: 最後没有留下来 但是250太高 改成150 02/03 16:36
7F：→ abcxyz6219: 测试是不会被吃掉的 谢谢大大 02/03 16:36