作者b10238056 (cyhuang)
看板NEMS
標題[問題] Tio2氣體感測器
時間Thu Jan 25 22:52:51 2018
請問 使用RF sputter 濺鍍二氧化鈦薄膜
結果薄膜沒有電阻反應
靶材是99.99%Tio2
濺鍍時只有用氬氣
試問為什麼呢？
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1F：推 jason770301: 太絕緣，超過電阻計檔位上限？ 01/27 14:34
2F：推 z7220876: 可以試試看退火 01/27 18:54
3F：→ b10238056: 那如果是用鈦金屬靶+氧氣 濺鍍呢？這樣比較容易有電阻 01/27 19:36
4F：→ b10238056: 嗎？ 01/27 19:36
5F：→ b10238056: 因為純二氧化鈦 是陶瓷靶 根本就是絕緣 我用四點探針一 01/27 19:37
6F：→ b10238056: 樣沒有電阻 01/27 19:37
7F：推 z7220876: 濺鍍TiO2鈀材時再多通氧進去，調變通氧量試試看 01/28 00:42
8F：推 jason770301: 換個地方測電阻吧，應該在Gohm等級，若你的儀器上限 01/28 01:35
9F：→ jason770301: 只能測到100Mohm，當然量不到電阻 01/28 01:35
10F：→ b10238056: 目前已經是純二氧化鈦 在通氧氣 電阻會變比較小嗎？ 01/28 16:57