作者b10238056 (cyhuang)
看板NEMS
标题[问题] Tio2气体感测器
时间Thu Jan 25 22:52:51 2018
请问 使用RF sputter 溅镀二氧化钛薄膜
结果薄膜没有电阻反应
靶材是99.99%Tio2
溅镀时只有用氩气
试问为什麽呢？
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 118.233.45.166
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1516891973.A.44E.html
1F：推 jason770301: 太绝缘，超过电阻计档位上限？ 01/27 14:34
2F：推 z7220876: 可以试试看退火 01/27 18:54
3F：→ b10238056: 那如果是用钛金属靶+氧气 溅镀呢？这样比较容易有电阻 01/27 19:36
4F：→ b10238056: 吗？ 01/27 19:36
5F：→ b10238056: 因为纯二氧化钛 是陶瓷靶 根本就是绝缘 我用四点探针一 01/27 19:37
6F：→ b10238056: 样没有电阻 01/27 19:37
7F：推 z7220876: 溅镀TiO2钯材时再多通氧进去，调变通氧量试试看 01/28 00:42
8F：推 jason770301: 换个地方测电阻吧，应该在Gohm等级，若你的仪器上限 01/28 01:35
9F：→ jason770301: 只能测到100Mohm，当然量不到电阻 01/28 01:35
10F：→ b10238056: 目前已经是纯二氧化钛 在通氧气 电阻会变比较小吗？ 01/28 16:57