作者andyallice ()
看板NEMS
標題[問題] HMDS 塗布問題
時間Fri Dec 29 15:40:30 2017
各位大家好
目前在讀有關半導體製程黃光的部分
想要問一下關於 HMDS 塗佈的問題
1. 如何確定晶圓上面確實有HMDS
2. 要怎麼確定HMDS的量
希望有大大可以為我這新手解答
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1F：推 asumawei: 你可以泡水看看 親疏水 12/30 13:09
2F：→ andyallice: 整個晶圓泡水？ 12/30 17:58
3F：→ andyallice: 要怎麼看啊 12/30 17:59
4F：→ needchange2: 量接觸角即可判斷親疏水性... 01/01 23:54
5F：推 sunchloveann: 其實最好的辦法是烤乾後 拿去量水的接觸角 01/02 12:19
6F：推 sunchloveann: 但如果只是單純要知道哪些面積沒有圖到 那就是 01/02 12:20
7F：推 sunchloveann: 滴落的位置+滴落量+旋轉轉速及時間的調整 01/02 12:21
8F：推 yuchungyi: 用量contact angle的機台量個center edge就知 01/05 23:40