作者andyallice ()
看板NEMS
标题[问题] HMDS 涂布问题
时间Fri Dec 29 15:40:30 2017
各位大家好
目前在读有关半导体制程黄光的部分
想要问一下关於 HMDS 涂布的问题
1. 如何确定晶圆上面确实有HMDS
2. 要怎麽确定HMDS的量
希望有大大可以为我这新手解答
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1F：推 asumawei: 你可以泡水看看 亲疏水 12/30 13:09
2F：→ andyallice: 整个晶圆泡水？ 12/30 17:58
3F：→ andyallice: 要怎麽看啊 12/30 17:59
4F：→ needchange2: 量接触角即可判断亲疏水性... 01/01 23:54
5F：推 sunchloveann: 其实最好的办法是烤乾後 拿去量水的接触角 01/02 12:19
6F：推 sunchloveann: 但如果只是单纯要知道哪些面积没有图到 那就是 01/02 12:20
7F：推 sunchloveann: 滴落的位置+滴落量+旋转转速及时间的调整 01/02 12:21
8F：推 yuchungyi: 用量contact angle的机台量个center edge就知 01/05 23:40