作者j50508 (Rochelle)
看板NEMS
標題[問題] 光阻購買及相關的問題
時間Thu Dec 21 17:05:51 2017
大家好
因研究需求，老闆是希望我用正光阻EPG-512來做我的pattern，
目前只知道國內有賣這支光阻的廠商:永光化學，
想問問各位前輩還有沒有其他管道可以買到這支光阻或是借用呢?
因為之前有發信問永光，還沒有下文TAT
另外一點是EPG-512通常會跟哪些顯影劑搭配使用呢?
P.S. 基板是p型矽基板，pattern 尺度最小大概5um 附近(不知道會不會太勉強...)
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六道同墜，魔劫萬千，引渡如來。
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