作者j50508 (Rochelle)
看板NEMS
标题[问题] 光阻购买及相关的问题
时间Thu Dec 21 17:05:51 2017
大家好
因研究需求，老板是希望我用正光阻EPG-512来做我的pattern，
目前只知道国内有卖这支光阻的厂商:永光化学，
想问问各位前辈还有没有其他管道可以买到这支光阻或是借用呢?
因为之前有发信问永光，还没有下文TAT
另外一点是EPG-512通常会跟哪些显影剂搭配使用呢?
P.S. 基板是p型矽基板，pattern 尺度最小大概5um 附近(不知道会不会太勉强...)
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六道同坠，魔劫万千，引渡如来。
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1F：推 astushi: TMAH就可以显了 12/23 14:22