作者Jimmyyyyy (@@方@)
看板NEMS
標題[問題] 光阻filter
時間Thu Oct 12 09:48:15 2017
請問光阻有專用的filter嗎？有沒有推薦的廠商?使用的光阻是FHL6400，用PES Menbreme
過濾後還是有particle存在(spin coat完成環形散布晶片上，particle附近光阻呈慧星狀
)，感謝各位了~~
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※ 編輯: Jimmyyyyy (115.82.131.75), 10/12/2017 09:48:58
1F：→ d8830400: FILTER RATING SIZE? PES過濾尺寸用0.1um?10/12 10:15
0.22 um，但過濾完coating後觀察到的particle大於30 um
※ 編輯: Jimmyyyyy (115.82.131.75), 10/12/2017 12:49:47