作者Jimmyyyyy (@@方@)
看板NEMS
标题[问题] 光阻filter
时间Thu Oct 12 09:48:15 2017
请问光阻有专用的filter吗？有没有推荐的厂商?使用的光阻是FHL6400，用PES Menbreme
过滤後还是有particle存在(spin coat完成环形散布晶片上，particle附近光阻呈慧星状
)，感谢各位了~~
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※ 编辑: Jimmyyyyy (115.82.131.75), 10/12/2017 09:48:58
1F：→ d8830400: FILTER RATING SIZE? PES过滤尺寸用0.1um?10/12 10:15
0.22 um，但过滤完coating後观察到的particle大於30 um
※ 编辑: Jimmyyyyy (115.82.131.75), 10/12/2017 12:49:47