作者goofy4ni (高飛)
看板NEMS
標題[問題] lift off問題
時間Mon Oct 2 21:18:14 2017
各位大大好
小弟最近在lift off上有個問題
光阻az4620 厚度約8um
基材：玻璃
金屬：cr 30nm au 50
蒸鍍後lift off ：浸泡丙酮1分鐘後振洗2分鐘
今天第一片浸泡時，沒看到光阻被洗掉，振完後大致結構還不錯，但是會有剝離掉金屬黏
在試片上
第二片則在浸泡時光阻已被洗掉一半
我有個壞習慣會蒸鍍幾片後再去lift off
不知道是不是這樣而會影響
上一次lift off 時候並沒有遇到振洗完的金屬黏在試片上，不知道有沒有大大也有遇過
此問題
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1F：推 a12121415: 問題可能出現在硬烤 10/12 02:22
2F：推 sunchloveann: Au的延長性好 本來就容易粘著飄阿飄 因為階梯覆蓋 11/09 00:52
3F：推 sunchloveann: 的關係，建議可以在蒸鍍前的硬烤 將試片反過來 11/09 00:53
4F：推 sunchloveann: 利用光阻的重量讓他往下 變倒梯形 就這可以避免 11/09 00:53
5F：推 sunchloveann: 階梯覆蓋 11/09 00:53
6F：推 sunchloveann: 比較好lift-off 11/09 00:53
7F：→ goofy4ni: 感謝二位～1 11/15 12:16