作者goofy4ni (高飞)
看板NEMS
标题[问题] lift off问题
时间Mon Oct 2 21:18:14 2017
各位大大好
小弟最近在lift off上有个问题
光阻az4620 厚度约8um
基材：玻璃
金属：cr 30nm au 50
蒸镀後lift off ：浸泡丙酮1分钟後振洗2分钟
今天第一片浸泡时，没看到光阻被洗掉，振完後大致结构还不错，但是会有剥离掉金属黏
在试片上
第二片则在浸泡时光阻已被洗掉一半
我有个坏习惯会蒸镀几片後再去lift off
不知道是不是这样而会影响
上一次lift off 时候并没有遇到振洗完的金属黏在试片上，不知道有没有大大也有遇过
此问题
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1F：推 a12121415: 问题可能出现在硬烤 10/12 02:22
2F：推 sunchloveann: Au的延长性好 本来就容易粘着飘阿飘 因为阶梯覆盖 11/09 00:52
3F：推 sunchloveann: 的关系，建议可以在蒸镀前的硬烤 将试片反过来 11/09 00:53
4F：推 sunchloveann: 利用光阻的重量让他往下 变倒梯形 就这可以避免 11/09 00:53
5F：推 sunchloveann: 阶梯覆盖 11/09 00:53
6F：推 sunchloveann: 比较好lift-off 11/09 00:53
7F：→ goofy4ni: 感谢二位～1 11/15 12:16