作者YuShaoChen (我轉三圈)
看板NEMS
標題[問題] SEM 拍攝 光阻疑惑
時間Thu Jun 8 06:37:19 2017
各位先進好：
小弟我對SEM有一點疑惑
書上以及老師都說 SEM並不能看高分子材料
即使鍍了一層金屬，還是會有溶劑揮發
還有就是高能的電子打在樣品上的時候 溫度也會造成高分子材料的變質&揮發。以上都會是汙染腔體的原因
可是許多的光阻data sheet上都有SEM的圖 也看過許多文獻的樣本是高分子也有拍攝…
想請問是有做什麼特殊處理嗎？
因為我們的樣本被告知進去槍膛後真空就很難抽下去，但是在自己這裡的sputter都可以很順利的抽…
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1F：→ YuShaoChen: 槍膛 更正 腔體 06/08 06:38
2F：推 sunchloveann: 烤乾 06/09 17:13
3F：推 sunchloveann: 通常高過光阻的tc溫度 06/09 17:14
4F：→ YuShaoChen: 可是負責機台的老師是說 即使烤乾也不能保證… 因為 06/09 22:59
5F：→ YuShaoChen: 之前我們實驗室學長已經黑了… 06/09 22:59
6F：→ maddeath: 的確在拍SEM時若是知道樣品上有光阻,我都會拒絕拍攝,但 06/13 14:03
7F：→ maddeath: 是也遇過很多人隱瞞樣品含有光阻來拍攝,目前遇過最誇張 06/13 14:05
8F：→ maddeath: 的一次是GUN才一開,電子束才剛打到試片,真空值瞬間狂掉 06/13 14:06
9F：→ maddeath: 電子腔馬上跳掉,來拍攝的學生才吐實試片中含有高分子材 06/13 14:07
10F：→ maddeath: 不過我也在不知情下拍過如原PO說的光阻試片,本來以為只 06/13 14:10
11F：→ maddeath: 是拍攝蝕刻後的圖形和奈米流道,拍了4次才發現樣品中有光 06/13 14:12
12F：→ maddeath: 組的存在,詢問下對方是說那光阻有烤乾,只是我之後不敢再 06/13 14:13
13F：→ maddeath: 幫忙拍攝了 06/13 14:13
14F：推 soaping: 黃光後也有inlineSEM阿 電子束能量高低問題 06/14 00:11
15F：推 lisasweet: 之前ChemEng有討論過,另外有可以進高分子的SEM~~~ 06/14 23:26
16F：→ lisasweet: (不知道後來有沒有修改掉就是XD) 06/14 23:26
17F：→ lisasweet: ChemEng看板XD 06/14 23:26
18F：→ balaboo123: 業界CD-SEM就在量光阻呀 只是你怎麼抓條件還有那台SEM 06/19 03:52
19F：→ balaboo123: 有沒有要給其他製程用這樣 06/19 03:53
20F：推 forceout: FA House: 費用含燈絲成本， 腔體定期清潔 04/15 17:16