作者YuShaoChen (我转三圈)
看板NEMS
标题[问题] SEM 拍摄 光阻疑惑
时间Thu Jun 8 06:37:19 2017
各位先进好：
小弟我对SEM有一点疑惑
书上以及老师都说 SEM并不能看高分子材料
即使镀了一层金属，还是会有溶剂挥发
还有就是高能的电子打在样品上的时候 温度也会造成高分子材料的变质&挥发。以上都会是污染腔体的原因
可是许多的光阻data sheet上都有SEM的图 也看过许多文献的样本是高分子也有拍摄…
想请问是有做什麽特殊处理吗？
因为我们的样本被告知进去枪膛後真空就很难抽下去，但是在自己这里的sputter都可以很顺利的抽…
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1F：→ YuShaoChen: 枪膛 更正 腔体 06/08 06:38
2F：推 sunchloveann: 烤乾 06/09 17:13
3F：推 sunchloveann: 通常高过光阻的tc温度 06/09 17:14
4F：→ YuShaoChen: 可是负责机台的老师是说 即使烤乾也不能保证… 因为 06/09 22:59
5F：→ YuShaoChen: 之前我们实验室学长已经黑了… 06/09 22:59
6F：→ maddeath: 的确在拍SEM时若是知道样品上有光阻,我都会拒绝拍摄,但 06/13 14:03
7F：→ maddeath: 是也遇过很多人隐瞒样品含有光阻来拍摄,目前遇过最夸张 06/13 14:05
8F：→ maddeath: 的一次是GUN才一开,电子束才刚打到试片,真空值瞬间狂掉 06/13 14:06
9F：→ maddeath: 电子腔马上跳掉,来拍摄的学生才吐实试片中含有高分子材 06/13 14:07
10F：→ maddeath: 不过我也在不知情下拍过如原PO说的光阻试片,本来以为只 06/13 14:10
11F：→ maddeath: 是拍摄蚀刻後的图形和奈米流道,拍了4次才发现样品中有光 06/13 14:12
12F：→ maddeath: 组的存在,询问下对方是说那光阻有烤乾,只是我之後不敢再 06/13 14:13
13F：→ maddeath: 帮忙拍摄了 06/13 14:13
14F：推 soaping: 黄光後也有inlineSEM阿 电子束能量高低问题 06/14 00:11
15F：推 lisasweet: 之前ChemEng有讨论过,另外有可以进高分子的SEM~~~ 06/14 23:26
16F：→ lisasweet: (不知道後来有没有修改掉就是XD) 06/14 23:26
17F：→ lisasweet: ChemEng看板XD 06/14 23:26
18F：→ balaboo123: 业界CD-SEM就在量光阻呀 只是你怎麽抓条件还有那台SEM 06/19 03:52
19F：→ balaboo123: 有没有要给其他制程用这样 06/19 03:53
20F：推 forceout: FA House: 费用含灯丝成本， 腔体定期清洁 04/15 17:16