作者nanfatfat (南肥兒)
看板NEMS
標題[問題] 磷酸蝕刻氮化矽參數
時間Thu May 25 14:47:35 2017
想請問一下
因為實驗室RIE機台故障，所以想改用濕蝕刻方式蝕刻nitride
目前查到是以磷酸加熱至150～180℃
但目前光阻只有AZ5214，想請問有沒有人做過類似製程，此種光阻會不會被磷酸腐蝕，謝謝~~
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