作者nanfatfat (南肥儿)
看板NEMS
标题[问题] 磷酸蚀刻氮化矽参数
时间Thu May 25 14:47:35 2017
想请问一下
因为实验室RIE机台故障，所以想改用湿蚀刻方式蚀刻nitride
目前查到是以磷酸加热至150～180℃
但目前光阻只有AZ5214，想请问有没有人做过类似制程，此种光阻会不会被磷酸腐蚀，谢谢~~
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