作者lockingdodo (豆豆)
看板NEMS
標題關於AZ5214的倒梯形結構
時間Fri Mar 10 13:37:40 2017
不好意思
想請問有人知道AZ5214在做黃光時
他倒梯形的程度是跟那些參數有關呢?
因為小弟在做lift off製程時希望他有比較明顯的倒梯形結構
謝謝各位
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1F：推 jeffdon2: 請用反轉烤，這樣自然會是倒梯形 03/10 23:40
2F：→ jeffdon2: 不然就改用AZ2020這支lift off專用的負光阻 03/10 23:41