作者lockingdodo (豆豆)
看板NEMS
标题关於AZ5214的倒梯形结构
时间Fri Mar 10 13:37:40 2017
不好意思
想请问有人知道AZ5214在做黄光时
他倒梯形的程度是跟那些参数有关呢?
因为小弟在做lift off制程时希望他有比较明显的倒梯形结构
谢谢各位
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1F：推 jeffdon2: 请用反转烤，这样自然会是倒梯形 03/10 23:40
2F：→ jeffdon2: 不然就改用AZ2020这支lift off专用的负光阻 03/10 23:41