作者ThePanzer (ThePanzer)
看板NEMS
標題[問題] GM1070軟烤時收縮
時間Wed Dec 28 01:34:24 2016
各位大家好
小弟在使用GM1070這支光阻時遇到一個問題
塗佈玩之後的軟烤時，常常發生光阻收縮
感覺就像是疏水性表面會有的狀況
如圖的狀況
http://imgur.com/aZE44GG
請問小弟是哪一步做錯了
導致產生以上的狀況呢
謝謝大家
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1F：推 Jinuse: PR coating前有做表面處理嗎 例如HMDS? 12/28 09:31
2F：→ ThePanzer: datasheet上寫不能做HMDS 我只有做去水烘烤 12/28 11:55
3F：推 Jinuse: 喔喔 那也沒做O2 plasma? 12/28 20:27
4F：推 sunchloveann: 問你個問題? 12/29 18:21
5F：推 sunchloveann: 你試片怎麼前置清洗的 12/29 18:22
6F：推 sunchloveann: 一般如果晶圓買來沒有做 BOE的清洗 有些光阻 12/29 18:22
7F：推 sunchloveann: 會很難上去 12/29 18:23
8F：推 sunchloveann: 因為上面的二氧化矽層降低了附著性 12/29 18:24
9F：推 OhMyAlex: 二氧化矽超親水 理論上不會降低附著性 但超親水會吸附大 01/01 20:22
10F：→ OhMyAlex: 氣的有機物 這一層就產生了疏水性 用Piranha把這層吃掉 01/01 20:23
11F：→ OhMyAlex: 露出乾淨的二氧化矽應該可以解決問題 01/01 20:23