作者ThePanzer (ThePanzer)
看板NEMS
标题[问题] GM1070软烤时收缩
时间Wed Dec 28 01:34:24 2016
各位大家好
小弟在使用GM1070这支光阻时遇到一个问题
涂布玩之後的软烤时，常常发生光阻收缩
感觉就像是疏水性表面会有的状况
如图的状况
http://imgur.com/aZE44GG
请问小弟是哪一步做错了
导致产生以上的状况呢
谢谢大家
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1F：推 Jinuse: PR coating前有做表面处理吗 例如HMDS? 12/28 09:31
2F：→ ThePanzer: datasheet上写不能做HMDS 我只有做去水烘烤 12/28 11:55
3F：推 Jinuse: 喔喔 那也没做O2 plasma? 12/28 20:27
4F：推 sunchloveann: 问你个问题? 12/29 18:21
5F：推 sunchloveann: 你试片怎麽前置清洗的 12/29 18:22
6F：推 sunchloveann: 一般如果晶圆买来没有做 BOE的清洗 有些光阻 12/29 18:22
7F：推 sunchloveann: 会很难上去 12/29 18:23
8F：推 sunchloveann: 因为上面的二氧化矽层降低了附着性 12/29 18:24
9F：推 OhMyAlex: 二氧化矽超亲水 理论上不会降低附着性 但超亲水会吸附大 01/01 20:22
10F：→ OhMyAlex: 气的有机物 这一层就产生了疏水性 用Piranha把这层吃掉 01/01 20:23
11F：→ OhMyAlex: 露出乾净的二氧化矽应该可以解决问题 01/01 20:23