作者jack85895 (JackHsu)
看板NEMS
標題[問題] GL2000顯影液替代方案
時間Wed Oct 26 11:31:58 2016
GL2000是我們實驗室主要用來ebeam黃光所使用的光阻
其顯影液為國外實驗室所製造（電子級）
之前洽電代理商 卻得知此顯影液不再生產
想請問有人使用其他的顯影液可以穩定顯影出200nm以下的pattern嗎？
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