作者jack85895 (JackHsu)
看板NEMS
标题[问题] GL2000显影液替代方案
时间Wed Oct 26 11:31:58 2016
GL2000是我们实验室主要用来ebeam黄光所使用的光阻
其显影液为国外实验室所制造（电子级）
之前洽电代理商 却得知此显影液不再生产
想请问有人使用其他的显影液可以稳定显影出200nm以下的pattern吗？
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