作者YuShaoChen (我轉三圈)
看板NEMS
標題[問題] 雙層光阻一次曝光的可能性
時間Sat Sep 17 18:28:56 2016
各位板上先進好：
小弟這裡想請問一下
各位是否有關於使用兩層光阻
卻只用一次曝光
分次顯影 的製程經驗
小弟的製程步驟為
旋塗一層負光阻SU8-3010(17 um) -> 軟烤 -> 旋塗EPG-510(正) -> 軟烤
曝光 -> EPD48顯影EPG -> 鍍銀 -> 丙酮去除EPD -> SU8顯影液顯影SU-8
主要是想在SU8突起的部分上有銀，而基板上沒有
目前卡在第一次顯影 似乎顯不乾淨
猜測是光阻黏著力問題
或是有沒有
別的更好的方式可以達到這樣結果
請問板上有沒有先進有這方面的經驗或是建議？
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.26.238.117
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1474108138.A.916.html
1F：推 SkyLark2001: 兩層難度太大，你可試一層su8, 曝光， peb 後不要顯 09/19 23:07
2F：推 SkyLark2001: 先拿去鍍銀後再顯影 09/19 23:09
3F：→ YuShaoChen: 有試過這個方法，不過因為高度一樣顯影液無法從各個方 09/21 02:34
4F：→ YuShaoChen: 向進入 顯不出來 09/21 02:34