作者YamadaRyo (亞嘛搭六)
看板NEMS
標題[問題] 能以氧電漿使玻璃對接嗎
時間Wed Sep 14 04:09:17 2016
你好
我知道玻璃能與PDMS 或是PDMS與矽晶圓利用打氧電漿的方式做接合
但我想請問能夠將兩片玻璃作接合嗎？
我還想問究竟那些材料能在打氧電漿的狀態下被活化？因為看到的資料都只提到上述三種
我猜想是有矽基？還是其他因素？
那是只要表面離子能被活化的任意兩者都能互相接合嗎？
雖然玻璃能否對接就直接拿兩片玻片去試就可得到答案
但因為這幾天連假回家 不會碰到機器 又滿想知道剛剛的靈感可行性......
請問有人有相關文獻能分享嗎？ 謝謝！
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1F：推 jam46: 兩片玻璃對接可用陽極接合。氧電漿沒試過，猜測應該是無法 09/18 02:28
2F：→ AKPPT: 應該可以 ，SOI中有使用兩邊都是二氧化矽使用oxygen activa 10/19 19:08
3F：→ AKPPT: tion 來做direct bonding 但是你兩邊都是玻璃 ，那要成功 10/19 19:08
4F：→ AKPPT: 兩邊玻璃的平整度要求會很高 10/19 19:08
5F：推 HIDEI524: 可唷！ 08/03 00:32