作者YamadaRyo (亚嘛搭六)
看板NEMS
标题[问题] 能以氧电浆使玻璃对接吗
时间Wed Sep 14 04:09:17 2016
你好
我知道玻璃能与PDMS 或是PDMS与矽晶圆利用打氧电浆的方式做接合
但我想请问能够将两片玻璃作接合吗？
我还想问究竟那些材料能在打氧电浆的状态下被活化？因为看到的资料都只提到上述三种
我猜想是有矽基？还是其他因素？
那是只要表面离子能被活化的任意两者都能互相接合吗？
虽然玻璃能否对接就直接拿两片玻片去试就可得到答案
但因为这几天连假回家 不会碰到机器 又满想知道刚刚的灵感可行性......
请问有人有相关文献能分享吗？ 谢谢！
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1F：推 jam46: 两片玻璃对接可用阳极接合。氧电浆没试过，猜测应该是无法 09/18 02:28
2F：→ AKPPT: 应该可以 ，SOI中有使用两边都是二氧化矽使用oxygen activa 10/19 19:08
3F：→ AKPPT: tion 来做direct bonding 但是你两边都是玻璃 ，那要成功 10/19 19:08
4F：→ AKPPT: 两边玻璃的平整度要求会很高 10/19 19:08
5F：推 HIDEI524: 可唷！ 08/03 00:32