作者cannibalking (一路向上)
看板NEMS
標題[問題] SiNx 是用ＣＶＤ還是熱蒸鍍？
時間Sat Jul 30 19:03:59 2016
如題
小弟一直以為SiNx 是用CVD做的
直到上次聽到SiNx也可以用熱蒸鍍做
令我嚇了一跳
請問是我誤會了什麼嗎？
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.7.224.141
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※ 編輯: cannibalking (118.7.224.141), 07/30/2016 19:37:43
1F：推 SkyLark2001: silicon nitride的鍍膜方式可以有CVD, PVD,spin on等 08/02 13:23
2F：推 SkyLark2001: CVD就包含LPCVD, PECVD及種種變形如ICP/ECR/ALD等 08/02 13:30
3F：→ SkyLark2001: PVD則包含sputter跟evaporatoin都有。另外也可用IBD 08/02 13:31
4F：→ SkyLark2001: ion beam deposition. 所以不是你誤會了什麼，而是 08/02 13:32
5F：→ SkyLark2001: 學海無涯 08/02 13:32
6F：→ leox243: 但是樓上你說的都不是熱蒸鍍吧..... 08/13 01:21
7F：推 bigbird0612: 回樓上234。 Evaporation不是熱蒸鍍嗎？ 10/25 23:21