作者cannibalking (一路向上)
看板NEMS
标题[问题] SiNx 是用ＣＶＤ还是热蒸镀？
时间Sat Jul 30 19:03:59 2016
如题
小弟一直以为SiNx 是用CVD做的
直到上次听到SiNx也可以用热蒸镀做
令我吓了一跳
请问是我误会了什麽吗？
谢谢
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※ 编辑: cannibalking (118.7.224.141), 07/30/2016 19:37:43
1F：推 SkyLark2001: silicon nitride的镀膜方式可以有CVD, PVD,spin on等 08/02 13:23
2F：推 SkyLark2001: CVD就包含LPCVD, PECVD及种种变形如ICP/ECR/ALD等 08/02 13:30
3F：→ SkyLark2001: PVD则包含sputter跟evaporatoin都有。另外也可用IBD 08/02 13:31
4F：→ SkyLark2001: ion beam deposition. 所以不是你误会了什麽，而是 08/02 13:32
5F：→ SkyLark2001: 学海无涯 08/02 13:32
6F：→ leox243: 但是楼上你说的都不是热蒸镀吧..... 08/13 01:21
7F：推 bigbird0612: 回楼上234。 Evaporation不是热蒸镀吗？ 10/25 23:21