作者YamadaRyo (亞嘛搭六)
看板NEMS
標題[問題] PDMS 雙面接合玻片
時間Sun Jul 3 00:30:03 2016
我想請問構造是要兩面BONDING載玻片
中間那層是PDMS薄膜
請問薄膜的構造是用什麼方法成型呢？
翻模的話 上方那面邊緣應該會成弧狀而厚度不均吧？ 這樣應該接合不成...
而且脫模後應該無法精準定位？
請問有人有這方面的經驗嗎QQ 拜託給我一些建議，謝謝！
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1F：推 s75287: 就給你一點建議 DOI: 10.1039/C4LC01211A 07/03 01:11
2F：推 jam46: PDMS 旋塗在晶圓上，烤固化後 bond 玻璃，割下薄膜&上面的 07/10 19:43
3F：→ jam46: 玻璃後，再 bond 另一片玻璃？ 07/10 19:43
4F：推 s75287: 樓上的方法問題在於1. 旋塗的PDMS 上面不會是通的 會有殘 07/15 18:34
5F：推 s75287: 留PDMS 2. 旋塗後bond上玻璃 很難脫模下來 不管是厚、薄 07/15 18:35
6F：推 s75287: 玻璃。薄的還有機會 但是容易破掉。 07/15 18:36
7F：推 nasa01: 電漿呢？ 07/27 04:28
8F：推 weisuan: 以前做單面是電漿拿到顯微鏡底下對 04/16 15:24