作者YamadaRyo (亚嘛搭六)
看板NEMS
标题[问题] PDMS 双面接合玻片
时间Sun Jul 3 00:30:03 2016
我想请问构造是要两面BONDING载玻片
中间那层是PDMS薄膜
请问薄膜的构造是用什麽方法成型呢？
翻模的话 上方那面边缘应该会成弧状而厚度不均吧？ 这样应该接合不成...
而且脱模後应该无法精准定位？
请问有人有这方面的经验吗QQ 拜托给我一些建议，谢谢！
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1F：推 s75287: 就给你一点建议 DOI: 10.1039/C4LC01211A 07/03 01:11
2F：推 jam46: PDMS 旋涂在晶圆上，烤固化後 bond 玻璃，割下薄膜&上面的 07/10 19:43
3F：→ jam46: 玻璃後，再 bond 另一片玻璃？ 07/10 19:43
4F：推 s75287: 楼上的方法问题在於1. 旋涂的PDMS 上面不会是通的 会有残 07/15 18:34
5F：推 s75287: 留PDMS 2. 旋涂後bond上玻璃 很难脱模下来 不管是厚、薄 07/15 18:35
6F：推 s75287: 玻璃。薄的还有机会 但是容易破掉。 07/15 18:36
7F：推 nasa01: 电浆呢？ 07/27 04:28
8F：推 weisuan: 以前做单面是电浆拿到显微镜底下对 04/16 15:24