作者Harki (Brin)
看板NEMS
標題[問題] Si wafer裂片 晶向判斷?!?!
時間Wed May 25 23:20:41 2016
各位板有大家好
最近遇到一點問題 太久沒接觸
想請教 Si Wafer 要如何從段裂面/斷裂方向
去判斷 此Si Wafer 晶向是何種?! <100> <110> <111>!?!?
還請各位指點!
謝謝~~~
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1F：推 brian791213: 想到丟蝕刻液... 05/26 22:16
2F：→ AKPPT: 可以從晶面間的角度粗判 ，但是為了知道結果把晶片切了 ， 05/29 12:02
3F：→ AKPPT: 有點本末倒置 05/29 12:02
4F：推 DChun: 可以用熱導電效應 06/12 12:31
5F：→ DChun: 抱歉我好像搞錯了.. 06/12 12:32