作者Harki (Brin)
看板NEMS
标题[问题] Si wafer裂片 晶向判断?!?!
时间Wed May 25 23:20:41 2016
各位板有大家好
最近遇到一点问题 太久没接触
想请教 Si Wafer 要如何从段裂面/断裂方向
去判断 此Si Wafer 晶向是何种?! <100> <110> <111>!?!?
还请各位指点!
谢谢~~~
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1F：推 brian791213: 想到丢蚀刻液... 05/26 22:16
2F：→ AKPPT: 可以从晶面间的角度粗判 ，但是为了知道结果把晶片切了 ， 05/29 12:02
3F：→ AKPPT: 有点本末倒置 05/29 12:02
4F：推 DChun: 可以用热导电效应 06/12 12:31
5F：→ DChun: 抱歉我好像搞错了.. 06/12 12:32