作者sunchloveann (北微戰神)
標題Re: [問題] APM清洗流程？
時間Fri May 20 10:53:23 2016
※ 引述《supermanstar (阿呆桶麵)》之銘言：
: 各位大大想請問APM的清洗流程，主要是用來清洗玻璃來鍍膜。
同學你好
基本上APM是用來去除表面的微粒
另外如果是用在清潔矽基板，還有去除表面氧化膜的效果(你是glass沒差)
基本上如果你的玻璃很髒有很多微粒
可以用APM清潔(NH4OH:H2O2:H2O 1:1:5 清潔時間80度/10分鐘)
建議先倒入H2O再倒NH4OH最後倒入H2O2
清洗完後，DI water清洗
最後氮氣槍吹乾，烘箱烘乾
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另外提供你我們清潔玻璃的作法
基本上我們買來的玻璃沒有很髒的話
會先用硫酸+雙氧水(H2SO4:H2O2 3:1 無須加熱，混合時就有接近百度的溫度清潔5分鐘 )
去除一些有機物跟一些雜質
然後用水沖洗完後，如果發現有淡白色的殘留物
可以再用丙酮清潔，在用IPA去除丙酮
最後在用DI water清潔乾淨吹乾烤乾即可
以上做法是我們自己的作法，如果您覺得有用供您參考
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