作者sunchloveann (北微战神)
标题Re: [问题] APM清洗流程？
时间Fri May 20 10:53:23 2016
※ 引述《supermanstar (阿呆桶面)》之铭言：
: 各位大大想请问APM的清洗流程，主要是用来清洗玻璃来镀膜。
同学你好
基本上APM是用来去除表面的微粒
另外如果是用在清洁矽基板，还有去除表面氧化膜的效果(你是glass没差)
基本上如果你的玻璃很脏有很多微粒
可以用APM清洁(NH4OH:H2O2:H2O 1:1:5 清洁时间80度/10分钟)
建议先倒入H2O再倒NH4OH最後倒入H2O2
清洗完後，DI water清洗
最後氮气枪吹乾，烘箱烘乾
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另外提供你我们清洁玻璃的作法
基本上我们买来的玻璃没有很脏的话
会先用硫酸+双氧水(H2SO4:H2O2 3:1 无须加热，混合时就有接近百度的温度清洁5分钟 )
去除一些有机物跟一些杂质
然後用水冲洗完後，如果发现有淡白色的残留物
可以再用丙酮清洁，在用IPA去除丙酮
最後在用DI water清洁乾净吹乾烤乾即可
以上做法是我们自己的作法，如果您觉得有用供您参考
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