各位板上的先進好 小弟我最近在 SU-3010 的 pattern 上遇到一些困難 不知道各位大大有沒有人曾經做過 3010 的 pattern 可以做到 13~15 um 高 ( 形狀是分裂共振環 間隔週期 20 um ) 並且邊緣是切直俐落如 data sheet 上的圖一般 可以告訴小弟我當初的參數或是任何需要注意的點嗎 以下概述我目前的製程 -------------我是分隔線------------- SU8-3010 cotaing 600 rmp 30 sec 1000 rmp 60 sec 軟烤 100'C 15 min 曝光 320 W 7 sec 曝後烤 100'C 20 min 顯影 ( sping ) 600 rmp 30 sec SU8-develop 定影 IPA --------------分隔線是我-------------- 這樣的製程方式良率不高，且邊緣也不不是切直的 之前是將就著用，最近發現後製程需要切直才好處理 所以上來詢問一下各位大大是否有任何建議或經驗可以提供 首PO請見諒 感謝各位~~ --

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