各位板上的先进好 小弟我最近在 SU-3010 的 pattern 上遇到一些困难 不知道各位大大有没有人曾经做过 3010 的 pattern 可以做到 13~15 um 高 ( 形状是分裂共振环 间隔周期 20 um ) 并且边缘是切直俐落如 data sheet 上的图一般 可以告诉小弟我当初的参数或是任何需要注意的点吗 以下概述我目前的制程 -------------我是分隔线------------- SU8-3010 cotaing 600 rmp 30 sec 1000 rmp 60 sec 软烤 100'C 15 min 曝光 320 W 7 sec 曝後烤 100'C 20 min 显影 ( sping ) 600 rmp 30 sec SU8-develop 定影 IPA --------------分隔线是我-------------- 这样的制程方式良率不高，且边缘也不不是切直的 之前是将就着用，最近发现後制程需要切直才好处理 所以上来询问一下各位大大是否有任何建议或经验可以提供 首PO请见谅 感谢各位~~ --

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