作者s1236325 (逛逛逛逛就好)
看板NEMS
標題[問題] 黃光微影製程大哉問
時間Thu Feb 4 12:23:28 2016
版內首PO，請鞭小力點
小妹目前碩一，做的題目有黃光微影製程，目前疑惑的點有以下：
1.正光阻（AZ系列）塗布會有基板選擇問題嗎？像是Si、ITO、Al2O3......等等。
2.顯影液是怎麼挑選？剛爬文，有些顯影液裡面的離子會對元件造成影響，怕選錯了會讓
結果變差。小妹是準備做氣體感測器，之後的學弟妹我就不知道了。
3.軟烤跟硬烤，要怎麼從OM看出參數跟時間上是沒問題的？因為我看一些論文有寫到這兩
個時間沒抓好，會有顯影困難跟光阻除去困難
4.蝕刻問題，擔心蝕刻完對於表面影像有嚴重影響，這時是透過OM還是AFM來看？
問題有點噗嚨共，因為我是自己實驗室第一個做的人，所有製程參數都要我來抓，去借別
人的實驗室做實驗，他們也沒做過氣體感測器，也無法給我參數上的意見。光阻劑跟顯影
液問題則是第一位怎麼買，後面就跟著買（覺得責任重大｡-_-｡
想請教各位先進，這些基本常識該去什麼樣的網站或找什麼樣的書來看呢？因為我打算建
立一套可以提供未來實驗室學弟妹查詢的途徑，避免走許多冤枉路。
PS:我唸化材系，指導教授是電機系畢業，系上沒有人做過黃光微影實驗，所以也沒得問
。問老師這些大哉問，老師是說隨便買，應該沒差太多（真的嗎？
問題有點多，懇請不吝賜教，謝謝
m(- -)m
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.236.229.89
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1454559811.A.0F5.html
1F：推 SkyLark2001: 氣體感測器...那就真的隨便買啊，你們老師沒說錯 02/04 14:34
真的喔，氣體感測器在光阻上面需求不大?因為我基板是Si，上面長Pt/Ti，怕蝕刻時會傷害到光阻
2F：推 SkyLark2001: 買AZ1512或其他15xx系列，搭配AZ顯影液 02/04 14:37
謝謝，我Google查詢它們的資料
另外，除了AZ系列，我也常看到S系列，這兩種有很大的差異嗎?謝謝
※ 編輯: s1236325 (1.172.112.250), 02/04/2016 15:23:44
3F：推 SkyLark2001: shipley的s1813跟az的1512是同樣用途的東西 02/04 16:57
4F：→ SkyLark2001: 哪個學校的?去共同無塵室比如北微南微去接受traning 02/04 16:58
5F：→ SkyLark2001: 比較容易進入狀況 02/04 16:58
6F：推 jameskey: 我也妳是中央的嗎？可以去微光電實驗室 02/05 12:23
7F：推 fswin321: A1:沒有,A2:可用TMAH 2.38%, A3:看OM顯影完圖案完整 02/16 13:47
8F：→ fswin321: TMAH是鹼性, 會吃兩性金屬,EX: 鋁 02/16 13:49