作者s1236325 (逛逛逛逛就好)
看板NEMS
标题[问题] 黄光微影制程大哉问
时间Thu Feb 4 12:23:28 2016
版内首PO，请鞭小力点
小妹目前硕一，做的题目有黄光微影制程，目前疑惑的点有以下：
1.正光阻（AZ系列）涂布会有基板选择问题吗？像是Si、ITO、Al2O3......等等。
2.显影液是怎麽挑选？刚爬文，有些显影液里面的离子会对元件造成影响，怕选错了会让
结果变差。小妹是准备做气体感测器，之後的学弟妹我就不知道了。
3.软烤跟硬烤，要怎麽从OM看出参数跟时间上是没问题的？因为我看一些论文有写到这两
个时间没抓好，会有显影困难跟光阻除去困难
4.蚀刻问题，担心蚀刻完对於表面影像有严重影响，这时是透过OM还是AFM来看？
问题有点噗咙共，因为我是自己实验室第一个做的人，所有制程参数都要我来抓，去借别
人的实验室做实验，他们也没做过气体感测器，也无法给我参数上的意见。光阻剂跟显影
液问题则是第一位怎麽买，後面就跟着买（觉得责任重大｡-_-｡
想请教各位先进，这些基本常识该去什麽样的网站或找什麽样的书来看呢？因为我打算建
立一套可以提供未来实验室学弟妹查询的途径，避免走许多冤枉路。
PS:我念化材系，指导教授是电机系毕业，系上没有人做过黄光微影实验，所以也没得问
。问老师这些大哉问，老师是说随便买，应该没差太多（真的吗？
问题有点多，恳请不吝赐教，谢谢
m(- -)m
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1F：推 SkyLark2001: 气体感测器...那就真的随便买啊，你们老师没说错 02/04 14:34
真的喔，气体感测器在光阻上面需求不大?因为我基板是Si，上面长Pt/Ti，怕蚀刻时会伤害到光阻
2F：推 SkyLark2001: 买AZ1512或其他15xx系列，搭配AZ显影液 02/04 14:37
谢谢，我Google查询它们的资料
另外，除了AZ系列，我也常看到S系列，这两种有很大的差异吗?谢谢
※ 编辑: s1236325 (1.172.112.250), 02/04/2016 15:23:44
3F：推 SkyLark2001: shipley的s1813跟az的1512是同样用途的东西 02/04 16:57
4F：→ SkyLark2001: 哪个学校的?去共同无尘室比如北微南微去接受traning 02/04 16:58
5F：→ SkyLark2001: 比较容易进入状况 02/04 16:58
6F：推 jameskey: 我也你是中央的吗？可以去微光电实验室 02/05 12:23
7F：推 fswin321: A1:没有,A2:可用TMAH 2.38%, A3:看OM显影完图案完整 02/16 13:47
8F：→ fswin321: TMAH是硷性, 会吃两性金属,EX: 铝 02/16 13:49