作者yang1836 (夠了沒有)
看板NEMS
標題[問題] AZ4620與AZ9260兩隻光阻
時間Tue Jan 12 14:17:02 2016
前幾次使用SU8 2050負光阻，
用在2.6mm乘2.6mm的chip上，
做圖形50um的線寬，
所希望光阻厚度是20um；
實驗室的光阻2050的係數太黏，
讓光阻旋塗後又回流結聚在晶片中心，
呈現水滴狀，小晶片曝失敗；
另外嘗試用大片si基板來做，
結果卡remove的時候不好拿，
已經用官方度PG,
在80度煮了兩天還是拿不掉…。
亞太工程師說，應該是光阻過期五年的關係…
因此想要更換光阻與光罩。
請問板上各位
可以從哪些管道AZ9260和AZ4620，
或知道這兩隻的CAS碼，
目前我打去AZ智安已被Meack買下，
Meack叫我打給景明化工，
景明問我CAS碼，
我看來看去也沒有看懂…
https://cleanroom.ien.gatech.edu/media/uploads/msds/634.pdf
打了兩次也不是他們要的CAS(小姐說沒給對)，
最近有點急啊…
另外還想問AZ光阻，
可以用什麼對應溶劑顯影呢？
謝謝！
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2F：推 jack30127: 4629顯影用AD10 02/10 10:03
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