作者yang1836 (够了没有)
看板NEMS
标题[问题] AZ4620与AZ9260两只光阻
时间Tue Jan 12 14:17:02 2016
前几次使用SU8 2050负光阻，
用在2.6mm乘2.6mm的chip上，
做图形50um的线宽，
所希望光阻厚度是20um；
实验室的光阻2050的系数太黏，
让光阻旋涂後又回流结聚在晶片中心，
呈现水滴状，小晶片曝失败；
另外尝试用大片si基板来做，
结果卡remove的时候不好拿，
已经用官方度PG,
在80度煮了两天还是拿不掉…。
亚太工程师说，应该是光阻过期五年的关系…
因此想要更换光阻与光罩。
请问板上各位
可以从哪些管道AZ9260和AZ4620，
或知道这两只的CAS码，
目前我打去AZ智安已被Meack买下，
Meack叫我打给景明化工，
景明问我CAS码，
我看来看去也没有看懂…
https://cleanroom.ien.gatech.edu/media/uploads/msds/634.pdf
打了两次也不是他们要的CAS(小姐说没给对)，
最近有点急啊…
另外还想问AZ光阻，
可以用什麽对应溶剂显影呢？
谢谢！
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1F：推 s75287: AZ400K AZ300K01/12 20:15
※ 编辑: yang1836 (42.70.174.250), 01/13/2016 04:38:04
2F：推 jack30127: 4629显影用AD10 02/10 10:03
3F：→ jack30127: 4620抱歉打错 02/10 10:04