作者jack30127 (龍)
看板NEMS
標題[問題] 請問是否有AZ4620專門的去光阻液
時間Thu Nov 12 12:21:34 2015
由於目前我要做元件會同時使用到AZ4620與SU8
兩種光阻使用的流程大概如下
第一層AZ4620 -> 第二層AZ4620與SU8 -> 第三層AZ4620
然後最後在去除所有的AZ4620
留下SU8
原本在設計得時候以為有專門去除AZ4620的去光阻液
但怎麼搜尋都找不到
找到的去光阻液都是對正負光阻通用型的
想請問各位
AZ4620是否有專門的去光阻液
抑或各位能提供我有甚麼方法
能讓我去除AZ4620而不會去破壞的我的SU8
第一次在NEMS發文
希望大家能不吝於指教><
謝謝各位~
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1F：→ homesa: AZ400K? 11/12 14:11
2F：推 SkyLark2001: Acetone不就行了嗎? 11/12 15:58
3F：→ jack30127: AZ400K不是顯影液嗎@@? 可以用來當作去光阻液使用? 11/13 01:01
4F：→ jack30127: 我是有考慮過丙酮 可是我有看到有很多人使用丙銅去沖 11/13 01:02
5F：→ jack30127: SU8時還是會發生SU8脫落的情形 11/13 01:03
6F：推 s75287: Acetone 是解 這結構我們已經做過了 SU-8我天天用丙酮洗 11/13 05:28
7F：→ jack30127: 好的~感謝各位>< 11/13 21:40
8F：推 rbrbrb: 我的論文上不是都寫得很清楚了嗎q_q 12/24 04:11