作者jack30127 (龙)
看板NEMS
标题[问题] 请问是否有AZ4620专门的去光阻液
时间Thu Nov 12 12:21:34 2015
由於目前我要做元件会同时使用到AZ4620与SU8
两种光阻使用的流程大概如下
第一层AZ4620 -> 第二层AZ4620与SU8 -> 第三层AZ4620
然後最後在去除所有的AZ4620
留下SU8
原本在设计得时候以为有专门去除AZ4620的去光阻液
但怎麽搜寻都找不到
找到的去光阻液都是对正负光阻通用型的
想请问各位
AZ4620是否有专门的去光阻液
抑或各位能提供我有甚麽方法
能让我去除AZ4620而不会去破坏的我的SU8
第一次在NEMS发文
希望大家能不吝於指教><
谢谢各位~
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1F：→ homesa: AZ400K? 11/12 14:11
2F：推 SkyLark2001: Acetone不就行了吗? 11/12 15:58
3F：→ jack30127: AZ400K不是显影液吗@@? 可以用来当作去光阻液使用? 11/13 01:01
4F：→ jack30127: 我是有考虑过丙酮 可是我有看到有很多人使用丙铜去冲 11/13 01:02
5F：→ jack30127: SU8时还是会发生SU8脱落的情形 11/13 01:03
6F：推 s75287: Acetone 是解 这结构我们已经做过了 SU-8我天天用丙酮洗 11/13 05:28
7F：→ jack30127: 好的~感谢各位>< 11/13 21:40
8F：推 rbrbrb: 我的论文上不是都写得很清楚了吗q_q 12/24 04:11