作者j2222222229 (j2222222229)
看板NEMS
標題[問題] 小線寬如何避免lift-off容易脫落
時間Sun Oct 18 20:19:54 2015
請問小線寬像是2微米線之後e-beam金屬
如何可以降低lift-off用丙酮+超音波震盪器的失敗率
因為金屬很容易飛離
用OM可以看出2um線沒有光阻殘留
但是lift-off時如果要把金屬完全離乾淨很多線會飛掉
如果不把金屬離乾淨則喪失部分區域
謝謝
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1F：推 mov8520: 2um 算大 震小點就可以了 12/23 20:00
2F：推 Amitopho: 把undercut做小一點？ 09/09 06:28