作者j2222222229 (j2222222229)
看板NEMS
标题[问题] 小线宽如何避免lift-off容易脱落
时间Sun Oct 18 20:19:54 2015
请问小线宽像是2微米线之後e-beam金属
如何可以降低lift-off用丙酮+超音波震荡器的失败率
因为金属很容易飞离
用OM可以看出2um线没有光阻残留
但是lift-off时如果要把金属完全离乾净很多线会飞掉
如果不把金属离乾净则丧失部分区域
谢谢
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1F：推 mov8520: 2um 算大 震小点就可以了 12/23 20:00
2F：推 Amitopho: 把undercut做小一点？ 09/09 06:28