作者yenjon (yenjon)
看板NEMS
標題[問題] s1813 曝光參數
時間Wed Oct 7 18:05:04 2015
我用的光阻是s1813
我的圖形寬度約為10um
塗完光阻後 90度軟烤5分鐘
曝光時間是25秒
顯影時間是25秒
之後再蒸鍍金屬阻擋層
但做到金屬阻擋層這一步
我的阻擋層邊緣不夠平滑
http://imgur.com/OuqeKWU
我試過蠻多參數但都還是不夠平滑
想請問各位是我哪一個參數太多或太少嗎
謝謝
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1F：推 SkyLark2001: 拿去超音波震。你這看起來最明顯是liftoff沒做好 10/09 02:17
2F：→ beamanok: 已找到方法解決了~感謝 10/15 16:31
3F：→ j2222222229: 感覺是金屬太厚 10/18 19:32