作者yenjon (yenjon)
看板NEMS
标题[问题] s1813 曝光参数
时间Wed Oct 7 18:05:04 2015
我用的光阻是s1813
我的图形宽度约为10um
涂完光阻後 90度软烤5分钟
曝光时间是25秒
显影时间是25秒
之後再蒸镀金属阻挡层
但做到金属阻挡层这一步
我的阻挡层边缘不够平滑
http://imgur.com/OuqeKWU
我试过蛮多参数但都还是不够平滑
想请问各位是我哪一个参数太多或太少吗
谢谢
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1F：推 SkyLark2001: 拿去超音波震。你这看起来最明显是liftoff没做好 10/09 02:17
2F：→ beamanok: 已找到方法解决了~感谢 10/15 16:31
3F：→ j2222222229: 感觉是金属太厚 10/18 19:32